Нами были собраны установки для газофазного (парофазного CVD) осаждения для работы с небольшими натурными сложных форм. Установки включали в себя разработанные нами модульные унифицированные блоке для CVD установок и были построены на тех же принципах, что и исследовательская CVD-установка для образцов плоской формы.
Плюсом разработанной схемы сборки CVD-установок является то, что для работы с деталями разных форм требуется, в основном, только изменение конструкции реактора.
Поэтому наиболее существенным отличием установок являлись реакторы, используемые для осаждения.
Реактор для нанесения покрытий на вращаемые образцы сложной формы. Содержит испаритель (генератор) галогенида тугоплавкого металла, испаритель металла-восстановителя, печи для нагрева галогенида, металла-восстановителя, нагрева образцов камеру осаждения покрытий с устройством для поступательно-вращательной подачи адаптера образцов, сопловой блок для смешения потоков реагентов, труб для ввода реагентов и вывода продуктов реакции
Реактор для нанесения покрытий на внутренние поверхности труб. Содержит испаритель (генератор) галогенида тугоплавкого металла, испаритель металла-восстановителя, печи для нагрева галогенида, металла-восстановителя, нагрева трубчатого образца, являющегося камерой осаждения покрытий, сопловой блок для смешения потоков реагентов, труб для ввода реагентов и вывода продуктов реакции
Программный интерфейс для управления CVD-установкой c вращаемыми образцами сложной формы
Программный интерфейс для управления CVD-установкой для нанесения покрытий на внутренние поверхности труб
