CVD технологии и материалы

CVD-материалы и покрытия находят все более широкое применение в авиационно-космической, медицинской, автомобильной промышленности, в производстве и переработке нефти и газа, производстве энергии (в том числе атомной и возобновляемой), в микроэлектронике и во многих других отраслях промышленности.

Например, с помощью покрытий модифицируют характеристики зубчатых передач, фитингов, клапанов, подшипников, колец, валов, медицинских имплантатов, деталей турбин, коробок передач, деталей пропеллеров, турбин, двигателей, управляющих механических элементов, инструментов, элементов микроэлектроники и т.д.

Целенаправленное совершенствование технологий CVD направлено на повышение производительности CVD-установок и улучшение функциональных свойств получаемых материалов: износостойкости, жаропрочности, коррозионной стойкости и других свойств рабочих поверхностей материалов. Кроме того, улучшаются технологические характеристики CVD-процессов и оборудования для обеспечения однородности покрытий на большей площади, управления составом покрытий, управления пористостью покрытий, улучшения адгезии покрытий, снижения температуры процесса осаждения, увеличения скорости осаждения.

Объем мирового рынка продаж в области химического осаждения из паровой фазы (CVD) в 2016 году составил ~$20,81 млрд, а стабильный рост доходов в отрасли примерно на 7,7% в год обусловлен, в основном, затратами на CVD-оборудование (около 12 миллиардов долларов). Ожидается, что к 2025 году мировой рынок CVD достигнет $48,01 млрд.

Таким образом, важным направлением работ в CVD-отрасли является снижение стоимости и упрощение оборудования для нанесения покрытий, что невозможно без стандартизации и унификации CVD-установок.

Примеры применения CVD материалов

Тугоплавкие материалы и покрытия используют в различных видах двигателей и турбин, например, жаростойкие и теплозащитные покрытия деталей горячего тракта (ГТД), деталей компрессора, лопаток турбин.

Устройство дозирования реагентов в реакционные камеры

Биоинертные покрытия для имплантов. Износостойкие антифрикционные материалы, например в подшипниках.