- ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ ХИМИЧЕСКОГО ГАЗОФАЗНОГООСАЖДЕНИЯ Та ВОССТАНОВЛЕНИЕМ ГАЛОГЕНИДОВ ТАНТАЛА КАДМИЕМ И ЦИНКОМ

 

- ОБОРУДОВАНИЕ ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО БЕЗВОДОРОДНОГО ГАЗОФАЗНОГО ОСАЖДЕНИЯ БЕСКИСЛОРОДНЫХ ТУГОПЛАВКИХ МАТЕРИАЛОВ

 

- АНАЛИЗ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ РЕАГЕНТОВ И МАТЕРИАЛОВ ПОДЛОЖЕК ПРИ НАНЕСЕНИИ ТАНТАЛОВЫХ ПОКРЫТИЙ